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真空探針臺的技術(shù)指標(biāo)及主要功能

作者:發(fā)布時間:2022-05-26分類:新聞文章閱讀:739 ℃評論:0 評論

高低溫真空探針臺是一種用于電子與通訊技術(shù)范疇的工藝實驗儀器。


  高低溫真空探針臺技術(shù)指標(biāo):


  1、六個探針臂接口,可以裝置六個探針臂。


  2、一個CF40真空抽氣口,一個疾速破真空進氣口。


  3、載物Chuck溫度范圍:4K-500K;CF法蘭接口,零碎極限真空優(yōu)于5*10-6Pa。


  4、漏率優(yōu)于:1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動,行程:25.4mm,定位精度:10μm。


  5、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA的測試精度。


  高低溫真空探針臺主要功能:


  可以完成樣品在高溫真空環(huán)境的測試,完成樣品在10-4PA真空度,4.2K到480K恣意溫度點的準(zhǔn)確電學(xué)測量,可完成直流和微波(40GHz)的測量。


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